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日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100(SEC-N146MGM)
HORIBA，SEC-N100質量流量控制器(SEC-N146MGM)
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日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 簡介
產品參數
產品品牌
HORIBA堀場
產品類型
質量流量計/控制器
可售賣地
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完善
產品簡介
日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100是一款高精度的數字式流量控制器，專為非芯片半導體制程設計，以適應各種工藝標準。該系列產品支持多種通信模式，包括數字式、模擬式、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT，確保與不同系統的兼容性。SEC-N100系列提供從10 SCCM到1000 SLM的廣泛流量控制范圍，能夠在1秒內響應，精度達到±1.0%，適用于光伏制造、功能玻璃干法鍍膜、藥品制造及環境監測等多個領域。其可調節氣體和量程選項，以及多種閥門類型的選擇，使其成為多種高端制造過程中的優選設備。
日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100(SEC-N146MGM) 介紹
型號:SEC-N146MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程:200
輸出:PROFIBUS(-DP)
0-5V/0-10V/4-20mA
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>35%F.S.) ±0.35% F.S.(Flow rate≤35%F.S.)
量程:200
輸出:PROFIBUS(-DP)
0-5V/0-10V/4-20mA
日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100 詳情介紹
SEC-N100質量流量控制器產品概述
HORIBA SEC-N100質量流量控制器專為非芯片半導體制程設計，以滿足該行業逐步統一的制造標準。該系列產品憑借高度的適應性，能夠滿足多種制程規范的需求，提供精確的流量控制和高速響應性，是多種高端制造過程中的優選設備。
SEC-N100質量流量控制器通信與控制接口
SEC-N100系列支持多樣的通訊模式，包括數字式和模擬式，及高級網絡通信協議如DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS和EtherCAT。這些功能使其能夠與不同的控制系統兼容，并提供靈活的配置選項。
SEC-N100質量流量控制器應用領域
- 光伏制造：過程控制與現場測量
- 功能玻璃干法鍍膜：等離子體發射控制與過程氣體監測
- 藥品制造：冷凍干燥設備的真空監測與控制
- 環境監測：對PM2.5的精確測量
- 光纖生產：流程氣體質量流量控制
- 實驗室研究與測試：實驗室用氣體質量流量控制
SEC-N100質量流量控制器產品特性
- 多模式通信兼容性：包括RS-485、DeviceNet、Profibus和模擬（電流/電壓）接口，確保與其他系統的無縫整合。
- 可調節氣體和量程：用戶可便捷地根據需求更改氣體類型和流量范圍，提高設備的適用性和靈活性。
- 高精度流量控制：精度達到±1.0%的設定流量，采用與SEC-Z500系列相同的高級sensor和bypass技術，確保流量控制的準確性。
- 快速響應時間：響應時間不超過1秒，在可控流量范圍內提供快速調節，內置PID參數可用于優化響應時間。
- 閥門選項：提供電磁閥（至50SLM）和壓電陶瓷閥（100/200SLM）選擇，適用于不同的流量需求。
- 材質與設計：提供橡膠或金屬密封圈，未經拋光處理的氣路表面，以及僅VCR接口的設計，滿足RoHS環保要求。
日本HORIBA堀場質量流量控制器SEC-N100產品規格
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