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HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312 簡介

產品參數

產品品牌

HORIBA堀場

產品類型

質量流量計/控制器

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產品簡介

HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統固定到位。 HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器的穩定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的選擇。

型號：GR314
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-100%
電源：24VDC

優點：
壓力控制更加穩定和精確

即使壓差非常低，也使用精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內的出口壓力。質量流量傳感器（可選）

通過應用HORIBA STEC 質量流量產品中成熟的流體控制技術，該產品能夠實現微小的差壓控制，并添加氣體流量監測（帶質量流量傳感器）以實現自診斷功能。

符合 RoHS 標準

GR-300系列使用不破壞環境且符合RoHS法規的零件

HORIBAGR-300系列晶圓背面冷卻系統壓力控制器GR-312參數

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